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***OKAMOTO全自动晶圆背面减薄机研磨机GNX200B

发布时间:2022-03-09 11:44:00        作者:衡鹏瑞和

***OKAMOTO全自动晶圆背面减薄机研磨机GNX200B_Back grinding



***OKAMOTO GNX200B全自动晶圆背面减薄机研磨机特点:
研削加工技术:日本机械学会授予***标准传送方式及向下研磨方法技术奖。
机械精度的调整方法:通过主轴进行调整,因为可进行原点定位,所以精度调整相当容易;可2处调节。
标准驱动方式:齿轴+定位销进行定位,长年使用也不会发生位移。
标准润滑方式:润滑油及防护罩,防止进入异物造成磨损。
设备刚性:高刚性,不会因老化造成精度变化,部件由***自产铸金一体化生产。


全自动晶圆背面减薄机研磨机GNX200B规格:
规格                     GNX200B     
***加工直径     Ф200    
轴承旋转数     0~3600min-1
轴承驱动电机     2.2/4 Kw/P
轴承进给速率     1~999μm/min
主轴数                     2
工作轴旋转数     1~300min-1
轴承尺寸(外径)          Ф250    
质量                     3900mm   




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