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小径晶圆用_3轴圆柱坐标型晶圆搬运机械手臂

发布时间:2021-12-01 14:43:00        作者:衡鹏瑞和

小径晶圆用_3轴圆柱坐标型晶圆搬运机械手臂





小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂特点: 
超洁净无尘间用2轴圆柱坐标型晶圆搬运机械手臂SSCR3090S系列
适用于半导体生产设备内部,检测设备等小尺寸晶圆的搬运,通过优化机械手臂的空间尺寸,
有利于实现设备的小型化
机械手臂标准臂长:90mm
同SSCR2090S-PM兼容,连杆式手臂,可以定制没有Z轴模块的机械手臂
全轴使用2相步进电机
晶圆固定方式:真空吸附式,下托式
手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质
可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供手指





小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂基本参数:
使用环境                        洁净间内的大气环境
手臂                              单臂
到达距离                        175mm (手臂第3关节中心到达距离)
升降轴MAX行程              150mm
可搬运质量                     0.1kg (只包含被搬运物体)(手臂第3关节处基准)









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