MITO DENKO水户电工MBE-260_MBE装置


MBE装置MBE-260概要：
水户电工MBE设备是超高真空装置，可以用从外部引入的激光在真空中激发，并将材料沉积在衬底上。



MBE装置MBE-260规格参数：  
Configure                                                                                                    Spec

Processing room 
and vacuum exhaust system                   Chamber Sharpφ260mm               Spherical SUS
                                                              Reaching vacuum                          Less than6.7×10-7Pa (5×10-9Torr)
                                                              Ceramic bearing 
                                                              turbo pump                                   250L/s

Substrate heating unit                            
                                                              laser substrate heating unit)
                                                              Size of substrate                            10mm
                                                              Maximum                                      
                                                              heating  temperature                     Above 800℃






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